スパッタリング薄膜の構造・機械的特性に関する分子動力学解析

スパッタリング薄膜の構造・機械的特性に関する分子動力学解析

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(エネルギー科学) === 甲第8633号 === エネ博第23号 === 新制||エネ||8(附属図書館) === UT51-2000-R39 === 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー変換科学専攻 === (主査)教授 松本 英治, 教授 井上 達雄, 助教授 星出 敏彦 === 学位規則第4条第1項該当...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: 飯塚, 高志
Other Authors: 松本, 英治
Format: Others
Language:Japanese
Published: 京都大学 2008
Subjects:
501
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/68744
Description
Summary:Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(エネルギー科学) === 甲第8633号 === エネ博第23号 === 新制||エネ||8(附属図書館) === UT51-2000-R39 === 京都大学大学院エネルギー科学研究科エネルギー変換科学専攻 === (主査)教授 松本 英治, 教授 井上 達雄, 助教授 星出 敏彦 === 学位規則第4条第1項該当

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