Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.

Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.

Bibliographic Details
Main Author: Jílek, Mojmír
Other Authors: Tichý, Milan
Format: Dissertation
Language:Czech
Published: 2007
Online Access:http://www.nusl.cz/ntk/nusl-288869
id ndltd-nusl.cz-oai-invenio.nusl.cz-288869
record_format oai_dc
spelling ndltd-nusl.cz-oai-invenio.nusl.cz-2888692017-06-27T04:41:27Z Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev. Diagnosties of highly ionized plasma during PVD thin film deposition. Jílek, Mojmír Tichý, Milan Hrachová, Věra 2007 info:eu-repo/semantics/masterThesis http://www.nusl.cz/ntk/nusl-288869 cze info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
collection NDLTD
language Czech
format Dissertation
sources NDLTD
author2 Tichý, Milan
author_facet Tichý, Milan
Jílek, Mojmír
author Jílek, Mojmír
spellingShingle Jílek, Mojmír
Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
author_sort Jílek, Mojmír
title Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
title_short Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
title_full Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
title_fullStr Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
title_full_unstemmed Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
title_sort diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při pvd depozici tenkých vrstev.
publishDate 2007
url http://www.nusl.cz/ntk/nusl-288869
work_keys_str_mv AT jilekmojmir diagnostikaplazmatusvysokouionizacipripvddepozicitenkychvrstev
AT jilekmojmir diagnostiesofhighlyionizedplasmaduringpvdthinfilmdeposition
_version_ 1718469671268646912

Similar Items