Diagnostika plazmatu s vysokou ionizací při PVD depozici tenkých vrstev.
Main Author: | Jílek, Mojmír |
---|---|
Other Authors: | Tichý, Milan |
Format: | Dissertation |
Language: | Czech |
Published: |
2007
|
Online Access: | http://www.nusl.cz/ntk/nusl-288869 |
Similar Items
-
Studium nízkotlakého systému HCPJ pro depozici tenkých vrstev Ti02
by: Perekrestov, Roman
Published: (2016) -
Sestavení a diagnostika aparatury pro depozici titanoxidových vrstev
by: MICHALČÍK, Zdeněk
Published: (2008) -
Rozvoj metod počítačové fyziky pro fyziku plazmatu a fyziku tenkých vrstev
by: Šimek, Jiří
Published: (2006) -
Komplexní difrakční studium tenkých polykrystalických vrstev
by: Šimek, Daniel
Published: (2008) -
Optické vlastnosti tenkých vrstev scintilačních materiálů
by: Onderišinová, Zuzana
Published: (2010)