Prosessimonitorilohko komponenttiparametrien mittaamiseen IC-prosessissa
Tässä diplomityössä perehdytään IC-valmistusprosessista aiheutuviin prosessivaihteluihin ja toteutetaan prosessimonitorilohko prosessivariaatioiden havainnointiin. Tavoitteena oli saada prosessimonitorilohko mittaamaan komponenttiparametrien muutoksia prosessivariaation suhteen. Tutkittavia parametr...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Dissertation |
| Language: | Finnish |
| Published: |
University of Oulu
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://urn.fi/URN:NBN:fi:oulu-201706082651 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:fi:oulu-201706082651 |