Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide
Résumé === Abstract
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | fr |
| Published: |
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2010BOR14005/document |