Développement de méthodes de caractérisation chimiques de surface en support à l’amélioration des procédés de la microélectronique avancée
L'objectif principal de ce travail de thèse a été de développer des méthodologies d'analyse de surface fiables pour caractériser divers nouveaux matériaux intégrés dans des structures de très faibles dimensions caractéristiques des développements actuels de la microélectronique. Un intérêt...
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| Language: | fr |
| Published: |
2015
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2015LYO10097/document |