Characterization and optimization of high density plasma etching processes for advanced memories application
Parmi d’autres caractéristiques, la mémoire électronique idéale doit présenter une faible consommation d'énergie, haute densité et de la rapidité en lecture/écriture/effacement. Différents types de mémoires ont été ainsi développées. Un exemple en l’eSTM (Embedded Select Trench Memory). Ce trav...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2016
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2016LYSEM024 |