Étude de l'évolution thermique du dommage d'implantation dans le silicium par nanocalorimétrie
Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.
Main Author: | Karmouch, Rachid |
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Other Authors: | Schiettekatte, François |
Language: | fr |
Published: |
2017
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/1866/17375 |
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