Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless

Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O sistema tradicional de monitoramento de espessura de filmes, baseado em cristal resson...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Martins, André Luis
Other Authors: Rodrigues, Evandro Luis Linhari
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2011
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/

Similar Items