Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.

O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Colombo, Fábio Belotti
Other Authors: Paez Carreño, Marcelo Nelson
Format: Others
Language:pt
Published: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP 2011
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/