Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas...
Main Author: | Colombo, Fábio Belotti |
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Other Authors: | Paez Carreño, Marcelo Nelson |
Format: | Others |
Language: | pt |
Published: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
2011
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/ |
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