Phase optimization of thermally actuated piezoresistive resonant MEMS cantilever sensors

by A. Setiono, A. Setiono, A. Setiono, M. Fahrbach, M. Fahrbach, J. Xu, J. Xu, M. Bertke, M. Bertke, W. O. Nyang'au, W. O. Nyang'au, W. O. Nyang'au, G. Hamdana, G. Hamdana, H. S. Wasisto, H. S. Wasisto, E. Peiner, E. Peiner
Published 2019-01-01