Atomic layer deposition of HfO2 on graphene from HfCl4 and H2O

by Alles Harry, Aarik Jaan, Aidla Aleks, Fay Aurelien, Kozlova Jekaterina, Niilisk Ahti, Pärs Martti, Rähn Mihkel, Wiesner Maciej, Hakonen Pertti, Sammelselg Väino
Published 2011-04-01