Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi
Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tesp...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Düzce University
2017-10-01
|
| Series: | Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dergipark.gov.tr/dubited/issue/27453/289143?publisher=duzce |