Diagramas de fase CVD para la preparación de películas de iridio
Se calcularon los diagramas de fase CVD (Chemical Vapor Deposition) para la preparación de películas de iridio empleando el método de minimización de la energía libre de Gibbs. Como precursor se utilizó acetilacetonato de iridio (Ir(acac)3). Se analizaron las mezclas gaseosas Ir(acac)3-O2Ar e Ir(aca...
| Main Authors: | , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
2002-02-01
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| Series: | Revista de Metalurgia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/381 |