Recubrimientos de (ti,al)n sobre acero aisi 4140 por sputtering reactivo
Empleando la técnica de Pulverización catódica con radiofrecuencia y magnetrón (Magnetron Sputtering RF), se prepararon películas de (Ti,Al)N sobre sustratos de acero AISI 4140. Se utilizó un blanco formado con polvos metálicos de Ti y Al, con composición nominal 60% Ti y 40% Al (porcentaje en áto...
| Main Authors: | , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad Nacional de Colombia
2007-01-01
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| Series: | Dyna |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=49615217 |