СТРУКТУРА И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ МНОГОСЛОЙНЫХ РЕНТГЕНОВСКИХ ЗЕРКАЛ W-Si
Методами рентгеновской дифрактометрии в жесткой области (l~0,154 нм) исследована фазовая структура, состав и строение многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с толщиной слоев вольфрама tW<10 нм, полученных методом прямоточного магнетронного распыления. Исследованы две серии образцов, изготов...
| Main Authors: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing
2018-09-01
|
| Series: | East European Journal of Physics |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/11153 |