Depósito de capas de nitruro de carbono mediante ablación láser
Se presenta la preparación de capas finas de nitruro de carbono mediante la ablación de diferentes tipos de blancos (grafito, guanazol) en una atmósfera reactiva de amoniaco utilizando un láser de excímero de ArF (193 nm). Las capas se han depositado sobre diferentes soportes (obleas de silicio y al...
| Main Authors: | , , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
1998-04-01
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| Series: | Revista de Metalurgia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/667 |