PENGARUH TEMPERATUR ANNEALING PADA SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OKSIDA DOPING ALUMINIUM OKSIDA
<p>Penumbuhan film tipis zinc oksida di-doping aluminium oksida dengan variasi temperatur annealing menggunakan metode <em>dc magnetron sputtering</em> telah berhasil dilakukan. Pengaruh variasi temperature <em>annealing</em> pada struktur dan sifat listrik film tipis t...
| Main Authors: | , , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universitas Negeri Semarang
2017-03-01
|
| Series: | Jurnal MIPA |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JM/article/view/9288 |