مطالعه و بررسی کمّی و کیفی پارامترهای مؤثر در انجام لیتوگرافی سطح با میکروسکوپ تونلی روبشی
در این مطالعه امکان انجام لیتوگرافی در مقیاس نانومتری در شرایط اتمسفر محیطی با کمک میکروسکوپ STM بررسی و پارامترهای بهینه برای انجام این کار مشخص شد، تا گام نخستی برای پیشرفت‌های آینده در زمینۀ ساخت نانوزیست‌تراشه‌ها و سامانه‌های نانوالکترومکانیکی برای تشخیص و بعضاً درمان در زمینۀ پزشکی باشد. آزمای...
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | fas |
| Published: |
Alzahra University
2020-09-01
|
| Series: | فیزیک کاربردی ایران |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://jap.alzahra.ac.ir/article_5367_408067bd13d43534f99f8d4ba1ecddea.pdf |