Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi
Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tesp...
Main Authors: | , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Düzce University
2017-01-01
|
Series: | Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi |
Subjects: | |
Online Access: | http://dergipark.org.tr/dubited/issue/27453/289143?publisher=duzce |