Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

• Main Authors: Tamer Şimşek, Kadir Gökşen
• Format: Article
• Language: English
• Published: Düzce University 2017-01-01
• Series: Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi
• Subjects: Amorf ince filmler; Optik bant aralığı; Geçirgenlik spektrokopisi
• Online Access: http://dergipark.org.tr/dubited/issue/27453/289143?publisher=duzce
• ISSN: 2148-2446

Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4 gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.