Análisis estructural y morfológico de películas de nitruro de aluminio obtenidas por deposición de láser pulsado
En este trabajo, se presentan los resultados preliminares de películas nanoestructuradas de nitruro de aluminio (AlN), que fueron depositadas con el método de deposición por láser pulsado (PLD). Al efecto, se utilizó un láser Nd:YAG (¿=1064nm), que impacto un blanco de aluminio de alta pureza (4N),...
| Main Authors: | , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Editorial Neogranadina
2010-12-01
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| Series: | Ciencia e Ingeniería Neogranadina |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://revistas.unimilitar.edu.co/index.php/rcin/article/view/279 |