Влияние параметров ионного осаждения в импульсном режиме на характеристики алмазоподобного покрытия
Теоретически исследуется осаждение алмазоподобного покрытия в импульсном режиме, в котором осаждаемый поток ионов плазменной среды с энергией E0 ~ (20÷200) эВ модифицируется путем наложения импульсного потенциала U ≤ 1000 В. Показано, что внутренние напряжения в алмазоподобном покрытии (АПП) при им...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
V.N. Karazin Kharkiv National University Publishing
2012-11-01
|
| Series: | East European Journal of Physics |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679 |