VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA)

VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA)

<p>Telah dilakukan deposisi film tipis ZnO:Ga di atas substrat kaca korning pada tekanan deposisi 500 mtorr dengan metode <em>DC-magnetron sputtering</em>. Film ditumbuhkan masing-masing pada suhu 325<sup>o</sup>C, 375<sup>o</sup>C, dan 425<sup>o</s...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors: S. Sulhadi, F. Fatiatun, P. Marwoto, S. Sugianto, E. Wibowo
Format: Article
Language:English
Published: Semarang State University 2015-01-01
Series:Jurnal Pendidikan Fisika Indonesia
Subjects:
Temperature Variation, Thin Film ZnO:Ga, Dc Magnetron Sputtering
Online Access:https://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JPFI/article/view/4007

Internet

https://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JPFI/article/view/4007

Similar Items