Diffractive grating recording in chalcogenide thin films
Šajā darbā mēs izskatījām neorganiska halkogenīda stikla As38S18Se44 kārtiņas strukturēšanas iespējas, izmantojot elektronu kūļa litogrāfiju. Pēc elektronu kūļa iedarbības, halkogenīdu plānās kārtiņas tika attīstītas sārmainā amīnu šķīdinātājā ar augstu selektivitāti, šķīšanas ātrums ir lineāri prop...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Sciendo
2012-10-01
|
| Series: | Latvian Journal of Physics and Technical Sciences |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://doi.org/10.2478/v10047-012-0027-z |