ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ПОРИСТЫХ ОКСИДОВ АЛЮМИНИЯ
Приводятся результаты использования пористых оксидов алюминия (ПОА), которые формируются с использованием электрохимического процесса анодирования. Широкое применение ПОА находят в микроэлектронике (анодированные алюминиевые основания, системы многоуровневых межсоединений, алюминиевые корпуса для БИ...
| Format: | Article |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Educational institution «Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics»
2019-06-01
|
| Series: | Doklady Belorusskogo gosudarstvennogo universiteta informatiki i radioèlektroniki |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/6 |