Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situ
Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está ca...
| Main Author: | |
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| Format: | Article |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Universidad Tecnologica Nacional
2021-08-01
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| Series: | Tecnología y Ciencia |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://rtyc.utn.edu.ar/index.php/rtyc/article/view/838 |