PARAMETERIZED LAYOUT SYNTHESIS OF A CMOS-COMPATIBLE SCANNING MICROMIRROR WITH ELECTROTHERMAL ACTUATION AND BIMODAL RESONANT BEHAVIOR
Este trabajo presenta una metodología de síntesis de parámetros para la automatización del diseño de un microespejo de escaneado compatible CMOS con comportamiento resonante bimodal. El microespejo está suspendido por actuadores térmicos bimorfos en voladizo con accionamiento fuera del plano. La met...
| Main Authors: | , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Universidad de Guadalajara
2011-01-01
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| Series: | Revista Electrónica y Tecnológica e-Gnosis |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=73020063010 |