Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика
Вирішується задача побудови теплового датчика на основі технології мікроелектромеханічних систем шляхом структурного і схемотехнічного інтегрування ємніснозалежної і термомеханічної частин. Для цього запропоновано використання МОН-транзистора (ємніснозалежної частини) із заслоном у вигляді біморфної...
| Main Authors: | , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
PC Technology Center
2019-12-01
|
| Series: | Eastern-European Journal of Enterprise Technologies |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://journals.uran.ua/eejet/article/view/184443 |