Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика
Вирішується задача побудови теплового датчика на основі технології мікроелектромеханічних систем шляхом структурного і схемотехнічного інтегрування ємніснозалежної і термомеханічної частин. Для цього запропоновано використання МОН-транзистора (ємніснозалежної частини) із заслоном у вигляді біморфної...
Main Authors: | , , , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
PC Technology Center
2019-12-01
|
Series: | Eastern-European Journal of Enterprise Technologies |
Subjects: | |
Online Access: | http://journals.uran.ua/eejet/article/view/184443 |
id |
doaj-d2fac5cf894d4de886ba6e74946b54dd |
---|---|
record_format |
Article |
spelling |
doaj-d2fac5cf894d4de886ba6e74946b54dd2020-11-25T01:59:35ZengPC Technology CenterEastern-European Journal of Enterprise Technologies1729-37741729-40612019-12-0169 (102)465210.15587/1729-4061.2019.184443184443Побудова теплового мікроелектромеханічного датчикаEgor Kiselev0Tetyana Krytska1Nina Stroiteleva2Konstantin Turyshev3Zaporizhzhia National University Zhukovskoho str., 66, Zaporizhzhia, Ukraine, 69600Zaporizhzhia National University Zhukovskoho str., 66, Zaporizhzhia, Ukraine, 69600Zaporizhzhia State Medical University Maiakovskoho ave., 26, Zaporizhzhia, Ukraine, 69035Zaporizhzhia National University Zhukovskoho str., 66, Zaporizhzhia, Ukraine, 69600Вирішується задача побудови теплового датчика на основі технології мікроелектромеханічних систем шляхом структурного і схемотехнічного інтегрування ємніснозалежної і термомеханічної частин. Для цього запропоновано використання МОН-транзистора (ємніснозалежної частини) із заслоном у вигляді біморфної мембрани (термомеханічної частини), що здійснює циклічні коливання під впливом нагрівання від чутливого елементу і наступного охолодження. Новизною датчика, що пропронується, є забезпечення частотно-залежного вихідного сигналу без використання додаткових генераторних схем. Це дозволяє спростити суміщення датчика з цифровими системами обробки його сигналів і знизити вплив ліній передачі на точність вимірювань. Перевагою датчика є також зменшені габаритні розміри, що досягається за рахунок вертикальної інтеграції його елементів. Проведено модельні дослідження датчика і на їх основі запропоновано схемні та програмно-апаратні рішення з реалізації визначення температури чутливого елементу. Показано, що застосування логаріфмичної залежності для апроксимації впливу температури чутливого елементу на зміну частоти вихідних імпульсів датчика дозволяє мінімізувати похибку вимірювань до 3,08 %. Визначено склад інформаційно-вимірювальної системи, яка містить тепловий датчик, схему попередньої обробки сигналів датчика і частину обробки результатів вимірювань з використанням мікроконтролера Atmega328 на платформі уніфікованого модуля Arduino Uno. Показано, що сумарна похибка визначення температури у розробленій системі не перевищує 4,18 % у діапазоні зміни температури чутливого елементу датчика від 20 °С до 47 °С. Розроблено програмний код мікроконтролерної частини інформаційно-вимірювальної системи який займає 12 % програмній пам’яті і 4,9 % динамічній пам’яті уніфікованого модуля. Тепловий мікроелектромеханічний датчик, що пропонується, може бути використано для контактного вимірювання температури газоподібних та рідких середовищ, реєстрації сигналів оптичного випромінювання і НВЧ сигналівhttp://journals.uran.ua/eejet/article/view/184443mos transistorbimorph membranesensitive elementpulse frequencymicrocontroller |
collection |
DOAJ |
language |
English |
format |
Article |
sources |
DOAJ |
author |
Egor Kiselev Tetyana Krytska Nina Stroiteleva Konstantin Turyshev |
spellingShingle |
Egor Kiselev Tetyana Krytska Nina Stroiteleva Konstantin Turyshev Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика Eastern-European Journal of Enterprise Technologies mos transistor bimorph membrane sensitive element pulse frequency microcontroller |
author_facet |
Egor Kiselev Tetyana Krytska Nina Stroiteleva Konstantin Turyshev |
author_sort |
Egor Kiselev |
title |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
title_short |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
title_full |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
title_fullStr |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
title_full_unstemmed |
Побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
title_sort |
побудова теплового мікроелектромеханічного датчика |
publisher |
PC Technology Center |
series |
Eastern-European Journal of Enterprise Technologies |
issn |
1729-3774 1729-4061 |
publishDate |
2019-12-01 |
description |
Вирішується задача побудови теплового датчика на основі технології мікроелектромеханічних систем шляхом структурного і схемотехнічного інтегрування ємніснозалежної і термомеханічної частин. Для цього запропоновано використання МОН-транзистора (ємніснозалежної частини) із заслоном у вигляді біморфної мембрани (термомеханічної частини), що здійснює циклічні коливання під впливом нагрівання від чутливого елементу і наступного охолодження. Новизною датчика, що пропронується, є забезпечення частотно-залежного вихідного сигналу без використання додаткових генераторних схем. Це дозволяє спростити суміщення датчика з цифровими системами обробки його сигналів і знизити вплив ліній передачі на точність вимірювань. Перевагою датчика є також зменшені габаритні розміри, що досягається за рахунок вертикальної інтеграції його елементів.
Проведено модельні дослідження датчика і на їх основі запропоновано схемні та програмно-апаратні рішення з реалізації визначення температури чутливого елементу. Показано, що застосування логаріфмичної залежності для апроксимації впливу температури чутливого елементу на зміну частоти вихідних імпульсів датчика дозволяє мінімізувати похибку вимірювань до 3,08 %. Визначено склад інформаційно-вимірювальної системи, яка містить тепловий датчик, схему попередньої обробки сигналів датчика і частину обробки результатів вимірювань з використанням мікроконтролера Atmega328 на платформі уніфікованого модуля Arduino Uno. Показано, що сумарна похибка визначення температури у розробленій системі не перевищує 4,18 % у діапазоні зміни температури чутливого елементу датчика від 20 °С до 47 °С.
Розроблено програмний код мікроконтролерної частини інформаційно-вимірювальної системи який займає 12 % програмній пам’яті і 4,9 % динамічній пам’яті уніфікованого модуля.
Тепловий мікроелектромеханічний датчик, що пропонується, може бути використано для контактного вимірювання температури газоподібних та рідких середовищ, реєстрації сигналів оптичного випромінювання і НВЧ сигналів |
topic |
mos transistor bimorph membrane sensitive element pulse frequency microcontroller |
url |
http://journals.uran.ua/eejet/article/view/184443 |
work_keys_str_mv |
AT egorkiselev pobudovateplovogomíkroelektromehaníčnogodatčika AT tetyanakrytska pobudovateplovogomíkroelektromehaníčnogodatčika AT ninastroiteleva pobudovateplovogomíkroelektromehaníčnogodatčika AT konstantinturyshev pobudovateplovogomíkroelektromehaníčnogodatčika |
_version_ |
1724963866768572416 |