Wymagania spawalnicze dla instalacji rurociągowych w systemach dystrybucji gazów wysokiej czystości w przemyśle półprzewodnikowym
Hale fabryczne każdego producenta mikroprocesorów wyposażone są w setki kilometrów instalacji rurociągowych wykonanych ze stali stopowej do dystrybucji różnego rodzaju gazów technicznych stosowanych w produkcji elementów półprzewodnikowych. Technologia ich łączenia musi zachować szczelność i odporn...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Publishing Agency - Welding Technology Review
2015-05-01
|
| Series: | Przegląd Spawalnictwa |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://pspaw.pl/index.php/pspaw/article/view/230 |