Wymagania spawalnicze dla instalacji rurociągowych w systemach dystrybucji gazów wysokiej czystości w przemyśle półprzewodnikowym
Hale fabryczne każdego producenta mikroprocesorów wyposażone są w setki kilometrów instalacji rurociągowych wykonanych ze stali stopowej do dystrybucji różnego rodzaju gazów technicznych stosowanych w produkcji elementów półprzewodnikowych. Technologia ich łączenia musi zachować szczelność i odporn...
Main Author: | |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Publishing Agency - Welding Technology Review
2015-05-01
|
Series: | Przegląd Spawalnictwa |
Subjects: | |
Online Access: | http://pspaw.pl/index.php/pspaw/article/view/230 |