Películas delgadas de Al2O3 sobre silicio preparadas por ablación láser
Se depositaron películas delgadas de Al2O3 por ablación láser sobre Si3N4/Si para utilizarlas como aislante térmico y eléctrico en dispositivos sensores de gases. Se analiza la microestructura de estas películas en función de las condiciones de la deposición (densidad de energía del láser, presión d...
| Main Authors: | , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
1998-04-01
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| Series: | Revista de Metalurgia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/664 |