Dépôt séquentiel de monocouches d'oxyde par voie humide pour la microélectronique.
La méthode de dépôt séquentiel par voie humide est une méthode adéquate pour obtenir des films denses et de bonne qualité aussi bien pour des applications aux diélectriques que pour des composés hybrides. En utilisant un automate programmable dans une atmosphère contrôlée d'azote, un échantillo...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Polytechnique X
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00002566 http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/50/36/17/PDF/Freiman.pdf |