Étude de plasmas générés par laser, soumis à des champs magnétique et électrique. Utilisation possible en techniques de dépôts.
Les propriétés de plasmas générés par laser ont été étudiées. Dans nos conditions expérimentales et quelques soient les éléments analysés (Al, Cu, Fe, Mo, Pt), la majorité des espèces évaporées sont des ions, d'énergies typiques de 60 eV à 100 eV. Du fait des mécanismes d'excitation et rec...
Main Author: | |
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Language: | FRE |
Published: |
2003
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00003440 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/56/06/PDF/tel-00003440.pdf |