ÉTUDE ET RÉALISATION DE MICRORÉSONATEURS EN TECHNIQUE LIGA-UV
Cette étude a pour but la conception de microrésonateurs basses fréquences réalisés par une technique de microfabrication collective : la LIGA-UV. Il est donc nécessaire dans un premier temps de connaître les propriétés mécaniques du matériau choisi pour la réalisation, à savoir le nickel obtenu par...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Franche-Comté
2001
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00009998 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/83/42/PDF/tel-00009998.pdf |