Etude expérimentale et théorique des mécanismes d'adsorption/désorption de l'antimoine sur une surface de silicium (111)
L'antimoine (Sb) est un élément qui a la particularité d'être utilisé à la fois comme dopant et comme surfactant du silicium (Si). L'étude du système Sb-Si est donc de première importance tant d'un point de vue fondamental que de celui de ses nombreuses applications en électroniq...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2005
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00010751 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/90/72/PDF/tel-00010751.pdf |