Etude et mise au point de la méthodologie de conception et de fabrication collective de microsystèmes sur silicium
La notion de micro-systèmes est née avec la microélectronique, mais n'a jamais connu le même essor. Les raisons de cette différence de développement sont nombreuses : multiplicité des domaines à maîtriser, complexité des circuits de traitement du signal nécessaires, et surtout manque de procédé...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
1997
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00010771 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/04/86/80/PDF/tel-00010771.pdf |