Développement des matériaux dans le cadre des microtechnologies
Par leur pluridisciplinarité, les microtechnologies, et plus précisément la fabrication de micro-capteurs/actionneurs, nécessitent le développement des matériaux conventionnels de la microélectronique mais aussi l'intégration d'autres matériaux aussi divers que variés. Cette habilitation p...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2004
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011350 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/44/68/PDF/HDR_P.Temple-Boyer.pdf |