Etude des procédés de croissance de couche et de décapage ionique par mesures de diffusion spéculaire et diffuse de rayons X

Une nouvelle technique basée sur la diffusion des rayons X et un montage adapté ont été conçus et implémentés sur la ligne de lumière BM5 de l'ESRF. L'instrument permet l'étude in situ et en temps réel e la rugosité d'une surface par diffusion en incidence rasante. L'interac...

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Bibliographic Details
Main Author: Peverini, Luca
Language:ENG
Published: 2005
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00011519
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/05/74/12/PDF/peverini-tesi-PhD.pdf