Solution générique pour l'adressage matriciel de micro-actionneurs thermiques et optimisation de micro-sources thermiques
La technologie a aujourd'hui atteint une maturité suffisante pour garantir la réalisation de MEMS avec un rendement de fabrication proche de 100%. Dés lors, on peut sereinement envisager l'intégration à haute densité de micro actionneurs ou de détecteurs pour de nouvelles fonctionnalités....
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2006
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00135620 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/56/20/PDF/TheseDumonteuilFinale.pdf |