Contribution à la conception et la réalisation de microsystèmes électrostatiques
Les microsystèmes électrostatiques se sont développés depuis une vingtaine d'année et ont constitué un événement marquant du développement technologique. La présentation abordera les travaux effectués en termes de modélisation du micro usinage de volume et en termes de développement technologiq...
Main Author: | |
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Language: | FRE |
Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2006
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Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00139604 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/96/04/PDF/HDR_VF.pdf |