Contribution à la conception et la réalisation de microsystèmes électrostatiques

Les microsystèmes électrostatiques se sont développés depuis une vingtaine d'année et ont constitué un événement marquant du développement technologique. La présentation abordera les travaux effectués en termes de modélisation du micro usinage de volume et en termes de développement technologiq...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Camon, Henri
Language:FRE
Published: Université Paul Sabatier - Toulouse III 2006
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00139604
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/13/96/04/PDF/HDR_VF.pdf