La micropyrotechnie sur silicium et l'intégration microsystèmes
Disposer au sein d'un système miniature, de micro actionneurs puissants intégrables, compatibles MEMS, bas coût et dont l'énergie est disponible facilement est un challenge permanent depuis la naissance des microsystèmes dans les années 90 et qui s'accentue avec la miniaturisation cro...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00150262 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/15/02/62/PDF/habilitation_rossi.pdf |