Micro-pyrolyse de couches minces de polymères précurseurs de céramiques
La pyrolyse d'un polymère précurseur permet de réaliser des dépôts céramiques. Comparé aux méthodes classiques (CVD, PVD), le principe est simple mais la réalisation pose des problèmes importants. On ne parvient pas à élaborer de cette façon des revêtements d'une épaisseur supérieure à env...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Centrale de Lyon
1992
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00151134 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/15/11/34/PDF/These_S_Bec.pdf |