Physico-Chemical study of the Focused Electron Beam Induced Deposition Process
La technique de croissance assistée par faisceau focalisé d'électrons offre des perspectives attrayantes pour la nano et micro-fabrication en trois dimensions. Les faisceaux d'électrons peuvent être focalisés sur des dimensions inférieures à 1 Å, ce qui permet l'observation, l'an...
| Main Author: | |
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| Language: | ENG |
| Published: |
2005
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00182533 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/18/25/33/PDF/These_3321_Bret.pdf |