Conception et élaboration de microstructures en technologie hybride couche épaisse pour des applications MEMS
Cette étude porte sur la réalisation de dispositifs utilisant des microstructures ou des actionneurs à base de couches épaisses partiellement désolidarisées dont le mouvement peut être découplé de celui du substrat sur lequel ils sont fabriqués. Un nouveau procédé basé sur l'association de la t...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Sciences et Technologies - Bordeaux I
2007
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00399523 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/39/95/23/PDF/These_P_GINET_IMS.pdf |