Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS

Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS

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Bibliographic Details
Main Author:	Veyrié, David
Language:	FRE
Published:	2007
Subjects:	[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics packaging MEMS hermiticité microcavité
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00399621 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/39/96/21/PDF/these_D_VEYRIE_IMS.pdf

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