De la couche sensible au système :dépôt par plasma froid et capteurs de gaz

Mes activités de recherches sont regroupées en trois parties principales allant de la couche sensible jusqu'au système. La première partie porte sur les plasmas froids. Le plasma, en tant que milieu physiquement et chimiquement très réactif, a essentiellement été utilisé pour le dépôt de couche...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Lauque, Pascal
Language:FRE
Published: Université Paul Cézanne - Aix-Marseille III 2009
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00428567
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/42/85/67/PDF/HDR_Lauque.pdf