Modélisation et optimisation d'actionneurs électrostatiques à membrane
Résumé. Ce mémoire concerne la modélisation analytique et l'optimisation d'actionneurs électrostatique basés sur une membrane. Le modèle analytique de fléchissement de la membrane mince de silicium, parfaitement encastrée, décrit par l'équation Lagrange/Newton pour les petites déflexi...
| Main Author: | |
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| Language: | ENG |
| Published: |
INSA de Toulouse
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00432916 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/43/29/16/PDF/C.MAJ-These_Recto-verso.pdf |