Propriétés électriques à l'échelle nanométrique des diélectriques dans les structures MIM et MOS
Cette étude s'inscrit dans le cadre de la caractérisation électrique par sonde locale de dispositifs Métal-Oxyde-Semiconducteur et Métal-Isolant-Métal. L'enjeu est de comparer les caractéristiques de conduction et de rigidité diélectrique aux échelles nanométrique et macroscopique, dans le...
| Main Author: | |
|---|---|
| Language: | FRE |
| Published: |
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00442919 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/44/29/19/PDF/These_Cedric_SIRE_FINAL.pdf |